مرجع دانلود پاورپوینت های درسی

حجم فایل : 2.4 MB
نوع فایل : پاور پوینت
تعداد اسلاید ها : 19
بنام خدا
پروژه درس تکنیک خلا(sem)


SEM تاریخچه

*فرضیه دوبروی مبنی بر خاصیت موجی الکترون 1923

1932 Knoll & Ruska *ساخت اولین میکروسکوپ الکترونی توسط

1938 Von Ardenne توسط SEM*ساخت اولین

1965 Cambridge تجاری توسط SEM *ساخت نخستین
مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی

*در ميكروسكوپ نوري شايد بتوان با تغيير انحناي (تقعر و تحدب) سطح عدسي‌ها و تعداد آنها بزگنمائي تصاوير را به هر مقدار زياد كرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاوير در بزرگنمائي‌هاي بالاي 2000 وضوح خود را از دست
*در ميكروسكوپ الكتروني به جاي نور از شعاع الكتروني استفاده مي‌شود. چون طول موج الكترون بسيار كوتاه است ميتوان در ميكروسكوپهاي الكتروني بزرگنمائي تصاوير را بسيار بالا برد (تا حد يك ميليون برابر در بعضي از ميكروسكوپهاي الكتروني و يا بيشتر)
*الكترون بر خلاف نور نميتواند به آساني در هوا حركت كند، در نتيجه بايد در مسير حركت الكترون و محفظه نمونه خلأ بسيار قوي ايجاد كرد Electron (E=10Kev ) λ≈0.4 nm

Visible light 400 nm < λ < 700 nm
SEMبخش های مهم

تفنگ الکترونی
عدسی ها
دهانه ها
سیم پیچ های روبشی
سیستم ایجاد خلا
محفظه نمونه
نمایشگر تفنگ الکترونی

الکترون ها از کاتد ساطع شده با عبور از میان اختلاف پتانسیل دهها یا صدها کیلوولتی شتاب گرفته در روی نمونه متمرکز می شوند

1- تفنگ الکترونی تنگستن
نیاز به خلا در حدود 10-5 Torr

LaB6 2- تفنگ الکترونی
Torr 10-نیاز به خلا در حدود 7

3- تفنگ گسیل میدانی
Torr 10-نیاز به خلا بهتر از 9 عدسی ها

1- عدسی های چگالنده
*باریکه الکترونی را همگرا می کنند

2- عدسی شیئی
*عمل کانونی نمودن باریکه روی نمونه را
انجام می دهند

*در بزرگنمایی نقش دارند



ماهیت این عدسی ها الکترومغناطیسی است

دهانه ها

در هر میکروسکوپ معمولا یک یا چند دهانه مورداستفاده قرار می گیرد

کار دهانه حذف یا به حداقل رساندن الکترون های اضافی است


سیم پیچ های روبشی

سبب حرکت باریکه الکترونی بر روی نمونه می شود سیستم ایجاد خلا

مهمترین دلایل نیاز میکروسکوپ الکترونی روبشی به خلا:

1- الکترون ها به راحتی توسط مولکول های گاز پراکنده شده به 15(انرژی) الکترونها فقط Kev حدی که در شرایط فاقد خلا، با
حدود 10 سانتی متر امکان نفوذ پیدا می کنند

2- خلا از اکسیداسیون نمونه ها جلوگیری می کند

3- در نبود خلا سطح نمونه آلوده می شود پمپ های خلا مورد استفاده

پمپ های خلا که معم...