مرجع دانلود پاورپوینت های درسی

حجم فایل : 4.0 MB
نوع فایل : پاور پوینت
تعداد اسلاید ها : 68
بنام خدا اساس تکنولوژی خلاء ایجاد خلاء مستلزم دو فرآیند است
1- تخلیه گازهای که در آغاز در حجم محفظه وجود داشته
2- سازگاری بین گنجایش پمپ و تولید گازی که از اول در فاز گازی نبوده بلکه ازدرزها (حقیقی یا مجازی) نشت کرده است .
که دومی گازی است که جدار ها ومواد موجود در محفظه آزاد می شوند . موضوعات اساسی تکنولوژی خلاء مورد بحٍث عبارنند از : 6- کاربرد عملی تکنولوژی خلاء 1- سرعت پمپ ها و رسانای مجازی که بوسیله آنها پمپ به محفظه کار اتصال داده است 2- ساخت نحوه عملکرد آنها 3- روشهای محاسبه فشارهای ایجاد شده وشناسایی گازی تشکیل دهنده. 4- طراحی و انتخاب مواد . کمینه نمودن نشتها (مجازی وحقیقی) 5- تکنیکهای ضروری ویژه برای ایجاد و اندازه گیری بالا ترین خلاء ها Workshop on vacuum and thin film technology, Karaj. 2007 طراحی و انتخاب مواد وکمینه نمودن نشتها (مجازی وحقیقی) مواد
1- خواص مواد ونیازهای طراحی
2- شیشه و اتصالات شیشه به فلز
3-فلزات
4- پلاستیک ها
5- واکس و گریس ها
6- اتصالات قابل باز وبسته شدن و حرکت در خلاء
7- شیرو دریچه های خلاء
8- گاز زدایی

نشت یابی
آشکارسازی نشت اندازه گیری فشار
1- نوع بارومتری
2- نوع مکانیکی
3- فشار سنج نوع مک لنود
4- فشارسنج های رسانایی گرمایی
5- فشارسنج یونشی کاتد ذاغ
6- فشارسنجهای یونشی کاتد سرد
7- فشار سنج های وابسته به دیگر ویژگیهای فیزیکی
کاربرد عملی تکنولوژی خلاء_____ 1- خلاء به عنوان يك عايق الكتريكي
2- جدا سازي توسط تقطير در خلاء
3- انجماد خشك
4- ساختلامپ ها، لوازم گرما يوني و نيمه رسانا
5- متالوژي خلاء
6- محيط آزمايشي فضاپيما
7- خلاء به عنوان عايق گرمايي
و غيره.............. Levels of vacuum__________ Rough vacuum
– 10-2 mBar->1 Atm
– a simple single or double stage rotary pump.
Edwards Sputter coater for EM
specimens
• Rubber O-ring seals
• Short pump-down time Material and Energy Research Centre (MERC) Semiconductor and Device Fabrication Levels of vacuum_________ • Rough vacuum
– 10-2 mBar->1Atm
– a simple single or double stage rotary pump.
• High vacuum
– 10-6 mBar->10-2 mBar
– Require a compound pumping system with a
high vacuum pump backed by a rotary pump.
– Sealing system on chambers etc. usually
rubber or viscoelastomer (viton) o-rings. Edwards Evaporator /
coater.
• O-ring seals
• 1-2 Hour pumpdown Material and Energy Research Centre (MERC) Requirements for Vacuum__________ • Units
– A wide variety of units are used in pressure measur...